FURUYA DENKI古屋电气供应链管理（深圳）有限公司
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- 品牌名称：
- SAMCO
- 产品型号：
- RIE-200C
- 订货编码：
- RIE-200C
- 产地：
- 日本
概述
RIE-200C 是基于我们在 CCP RIE 系统“RIE-10NR”上的经验开发的量产盒式系统，该系统具有丰富的交付记录。该系统可对Si、Poly-Si、SiO2、SiN等多种硅薄膜进行高精度刻蚀和灰化，采用双卡匣双臂机械手，全自动操作，实现高产能。 PLC控制，高性能存储工艺参数。
主要特点和优点
大气高速传输系统
该系统配备了一个大气盒室和一个大气传输机器人，而不是通常的负载锁定室。它可以处理最大 ø8" 晶圆的自动处理，并且可以安装在两个晶圆盒中。
全自动操作
通过触摸屏实现全自动操作，通过 PLC 控制可以进行过程管理和数据记录。
应用
- Si、Poly-Si、SiO2、SiN等各种硅薄膜的高精度刻蚀。
- 光刻胶灰化、剥离和除渣
- 去除有机污染物