FURUYA DENKI古屋电气供应链管理（深圳）有限公司
同类产品
- 品牌名称：
- SAMCO
- 产品型号：
- PD-330STC
- 订货编码：
- PD-330STC
- 产地：
- 日本
概要
PD-330STC是一种低温(80 ~ 400°C)、高速(>300 nm/min)的等离子体增强CVD系统，可用于大规模生产。Samco独特的液态源CVD系统采用自偏置沉积技术和液态TEOS源，以低应力沉积SiO2薄膜，从薄膜到极厚的薄膜（高达100 µm）。该系统通过采用大气盒装载和ø300毫米晶圆的优良工艺均匀性，实现了高产量。
主要特点和优点
- 沉积范围达ø300 mm（12"）。
- 阴极耦合自偏析沉积技术可以实现低应力薄膜的高速（>300 nm/min）沉积。
- 通过低温沉积，可以在塑料表面上沉积薄膜。
- 高纵横比结构的优秀阶梯覆盖率
- 使用锗、磷、硼液源控制折射率。
- 优异的工艺均匀性和可重复性
应用
- 塑料材料上保护膜的沉积
- 在3D LSI的通孔侧壁上沉积绝缘膜。
- 光波导的制造（光纤芯/包层）。
- 制造用于微型机械生产的面罩。
- 覆盖高纵横比结构，如MEMS器件。
- TCSAW器件的温度补偿膜和钝化膜。