Edwards CTI-Cryogenics On-Board® IS 单级低温泵可显著提高涡轮泵的抽速,无论是用于传输腔、in-line还是腔体解决方案,均使系统处理量和处理效率有可能得到大幅提升。
高速水泵还可以提升许多采用真空处理工艺的最终产品质量,从而提高总体产量,并大幅降低浪费和生产成本。
On-Board® IS 单级低温泵的设计采用多种配置,以满足大多数应用需求。其同时支持内嵌配置和就地配置,并提供不同的产品尺寸。