XDD1 隔膜泵紧凑高效,可在清洁、高真空应用中用作小型复合涡轮分子泵的前级泵,也可用作独立的台式机组。XDD1 用作 70 ls-1 的涡轮分子泵的前级泵时,典型极限压力可优于 5 x 10-8 mbar。