最大输出范围:11 – 150 L/min专为半导体工艺设计 清洗液循环、CMP浆液输送、高纯度药液供应泵TC系列(氟树脂型)的特点
- 专为半导体设计
- TCT型是为半导体设计的氟树脂气动隔膜泵。由于空气驱动系统的优点和多种型号配置,它可以用于广泛的用途,从循环清洗设备,输送CMP浆液,供应高纯度化学液体。
- 显着减少空气消耗
- 通过改变气室的结构,与传统型号相比,空气消耗量大大减少。在高排放压力下运行时,空气消耗量最多可减少 50%。
• 这是最大排放量附近数据的比较,根据型号、要传输的液体和管道而有所不同。
- Max. 0.7MPa的高压排放
- Max.0.7MPa的高压排放是可能的(某些型号)。此外,由于排气压力与供气压力成正比,因此可以通过调节空气调节器轻松控制。
- 提高运行稳定性
- 空气切换方式有滑阀式和电动式。采用独特结构的环形C-spool®,大大提高了运行稳定性。
- 不需要防爆
- 由于采用压缩空气驱动,无需特殊防爆措施。此外,由于不会因过载而发热,因此可用于防爆区域。
- 完全自吸
- 完全自吸,无需启动。此外,干式运行和空气混合液体转移也是可能的。
Looped C spool® (PAT. PEND.)
环状 C 阀芯使用具有独特结构的环状 C 弹簧,通过使弹簧比传统 C 弹簧更长,提高了耐用性,并增加了中间停止减少效果。
外形规格
最大放电范围 | 11 – 150 升/分钟 |
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最大排放压力范围 | 0.5 – 0.7 兆帕 |
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最大耗气量范围 | 170 – 1500NL/分钟 |
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供气压力范围 | 0.2 – 0.7 兆帕 |
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主要成分 | PTFE(隔膜、球阀、阀座) |
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液体温度范围 | 0 – 80°C(取决于型号) |
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粘性液体 | 2500 mPa s(详情请联系我们。) |
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浆液 | 请联系我们。 |
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密封方式 | 无密封 |
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