FURUYA DENKI古屋电气供应链管理（深圳）有限公司
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- 品牌名称：
- IWAKI
- 产品型号：
- FS-N 系列
- 订货编码：
- FS-N 系列
- 产地：
- 日本
最大排放量：100 L/minMax. 100L/min 药液供给用大流量机型
FS-N 系列的特点
- 高速冲程
- 高速冲程（Max.200spm：FS-80NT型）实现了小型化、轻量化、低成本。
- 无污染设计
- 含氟聚合物用于所有接液部件。泵的外圆周也涂有氟树脂，该设计消除了金属外露。此外，使用我们独特开发的轴封（FS-80NT 型...PAT.）进一步减少了颗粒的产生。
- 大流量/高压排放
- 供气压力可达0.7 MPa，因此可用于广泛的清洗和CMP工艺，以及需要高压和大流量排放的化学品输送工艺。
- 传感器驱动方式
- 采用传感器驱动系统，通过泵内置的接近开关切换电磁阀。由于运行可靠，通过连接各种控制器可以轻松控制和管理排放量。