FURUYA DENKI古屋电气供应链管理（深圳）有限公司
同类产品
- 品牌名称：
- IWAKI
- 产品型号：
- FLP 系列
- 订货编码：
- FLP 系列
- 产地：
- 日本
最大排放量：92 L/min无需阻尼器即可实现低脉动，有助于降低总体成本
实现稳定运行，具有出色的负载跟随性，适用于单晶片工艺
实现稳定运行，具有出色的负载跟随性，适用于单晶片工艺
FLP系列的特点
- 低脉动
- 根据来自激光位移传感器和接近开关的信号，控制器跟踪波纹管的位置。控制器确定左右波纹管的最佳相位覆盖量，并切换电磁阀以减少脉动。
- 出色的负载跟随性，适用于单晶圆工艺
- 通过进行相位控制，提高了负载变动时的跟踪性能。尤其是在单片工艺等压力波动频繁的生产线中，其高负载跟随性可实现排放量和排放压力的稳定运行。
- 无需阻尼器，节省空间
- 由于无需安装阻尼器，因此可以节省设备空间。配管作业简单，可以减少氟树脂接头等昂贵的配管材料，有助于设备的小型化和轻量化。
- 安全设计
- 波纹管焊接结构可防止液体泄漏，即使波纹管损坏，泄漏传感器也用于检测液体泄漏，因此您可以放心使用。
FLP-60W 外形规格
FLP-75W 外形规格
专用泵控制器LPC-1
外形规格
- 电源电压：DC24V -5% – +10%
- 最大电流消耗：0.11A
- 外接电源输出：1.8A
气动低脉动波纹管泵 FLP 系列的应用领域
- 新能源领域
- 太阳能电池
- 半导体/液晶领域