Matheson Tri-Gas 通过引入这种 Teflon 介质过滤器，通过高性能膜式气体过滤器实现 0.01 微米水平的气流过滤效率，提供了一种控制微粒的有效解决方案。该过滤器可以安装在由钢瓶气源、散装气源或现场发电厂供应的非腐蚀性气流中。在反应室本身附近安装膜过滤器可在消除可释放到气流中的微粒方面提供最佳保护。

设计特点

• 多孔聚四氟乙烯过滤介质。
• 与非腐蚀性半导体气体具有出色的兼容性
• 全焊接316L 不锈钢结构...用于纯度
• 提供VCR 和Swagelok 连接的标准装置
• PTFE Teflon 膜；0.2 微米孔径
• 额定效率为 100% 至 0.01 微米
• 大表面积，使用寿命更长，流动特性均匀

建筑材料

• 阀体：316 不锈钢
• 膜：聚四氟乙烯支撑并由聚丙烯端盖
密封 • 密封：聚四氟乙烯封装的硅胶 O 形圈

规格

• 最大工作压力：1000 psig
• 额定温度：最大100ºF (38ºC)。
• 最大流量：250 SLPM（15 psi 压差）
• 孔径：0.2 微米
• 过滤等级：在 0.01 微米级别时达到 100% 的效率
• 有效过滤面积：0.5 ft3
• 运输重量：2 磅