一种高纯度调节器，专为使用腐蚀性、有毒或发火气体的分析应用而设计。

应用

• 供应腐蚀性气体、有毒气体或自燃气体，需要强制关闭调节器。
• 向半导体制造过程供应腐蚀性/有毒气体。

设计特点

• 高纯度 316L 不锈钢棒材主体
• 高纯度 316 不锈钢隔膜
• 金属对金属密封件可最大限度地减少污染物的扩散
• 2 英寸入口和输送压力表
• 阀盖带有端口和螺纹，可将气体远离工作区域
• 系紧阀座设计有助于确保调节器关闭
• 配备出口隔膜阀
• 1/4” 压缩管出口连接
• 多孔金属过滤器可保护阀座免受污染
• 面板可从后部安装，带有两个螺纹孔

建筑材料

• 压力表：316 不锈钢
• 阀体：316L 不锈钢
• 阀盖：316 不锈钢
• 隔膜：316 不锈钢
• 阀座：PCTFE
• 密封件：金属对金属 

规格

• 最大入口压力：3000 psi (20,700 kPa)
• 典型最大流量（100 psi del press）：3 SCFM-N2 (85 SLPM)
• 流量 (Cv)：0.09
• 工作温度：-40°F 至 160° F（-40°C 至 71°C）
• 端口（调节器主体）：1/4” NPT 内螺纹
• 端口配置：2 高，2 低

选项

无润滑油
螺纹中添加了少量聚三氟氯乙烯，以方便组装。对于方法检测限低于 ppm 的 ECD、MS 或 AED 应用，建议使用无润滑 (-NL) 模型。

交叉吹扫
• 在更换钢瓶时消除有害气体的逸出
• 降低大气水分和氧气污染的危险
• 最大限度地减少更换钢瓶期间的气体损失量
• 全不锈钢结构