FURUYA DENKI古屋电气供应链管理（深圳）有限公司
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- 品牌名称：
- BROOKS
- 产品型号：
- VDM300
- 订货编码：
- VDM300
- 产地：
- 美国
VDM300 去离子水蒸气输送模块
用于超高纯度去离子 (DI) 水蒸气输送的最高流量精度。
型号 VDM300
Brooks Instrument 的蒸汽输送模块 (VDM) 是一种高性能、独立的模块，用于高精度输送超高纯度去离子 (DI) 水蒸汽。它采用节能设计，能够产生低温、超高纯度的蒸汽。它采用成熟的蒸汽输送技术，并将其与先进的数字控制和集成诊断功能结合在一个小巧、方便的包装中。
与闪蒸系统相比，VDM 专为先进的剥离和后金属蚀刻钝化工艺而设计，可提供更高的精度、更高的流速、更宽的控制范围和更低的功耗。基于经过验证的热质量流量测量技术，VDM 产生非过热蒸汽状态的蒸汽，减少去离子水的侵蚀性影响，从而提高可靠性和更清洁的操作。
VDM 通过独立的服务端口和直观的图形用户界面提供用户友好的数据记录和诊断功能。
特征
- 流量范围：3 slpm（DIW 蒸汽）
- 具有卓越流量精度的直接水蒸气测量
- 直接连接到房屋去离子水供应
- 在较低温度下运行（非过热状态）
- 冲洗和排水的优化设计
- EtherCAT 数字通信
- Brooks 专家支持工具 (BEST) 图形用户界面
好处
- 采用成熟可靠的热质量流量测量和控制技术
- 高度耐受不同的晶圆厂 DI 供水压力
- 润湿路径中的耐腐蚀性提高
- 确保更清洁的操作
- 使用模拟或数字通信的工具接口
- 用于增强数据收集或故障排除的直接用户界面
应用
- 硅半导体后金属蚀刻工艺
- 硅半导体金属带工艺
- 亚大气压环境下的超高纯度加湿