Brooks 5866RT 型金属或弹性体密封压力控制器和流量计在控制压力的同时还测量流量。5866RT 型接收远程压力传感器信号,并使用可调节的集成 PID 控制电子设备和控制阀,将保持所需的设定压力。5866RT 具有密封件、电抛光润湿表面以及广泛的压力和流量测量范围等选项,可在广泛的过程中提供经过验证的结果。