FURUYA DENKI古屋电气供应链管理（深圳）有限公司
同类产品
- 品牌名称：
- BROOKS
- 产品型号：
- 5850EMH 系列
- 订货编码：
- 5850EMH 系列
- 产地：
- 美国
5850EMH 系列高温质量流量控制器
久经考验的长期稳定性。用于高温应用的超纯性能。
型号 5850EMH / 5851EMH
Brooks Instrument 的 5850EMH 系列高温金属密封质量流量控制器在高温气体测量和控制方面提供最先进的性能，将金属密封的出色泄漏完整性与各种选项相结合，从而实现最大的应用灵活性。5850EMH 系列的核心是高度稳定的传感器，可提供与流量成线性关系的电输出信号。该信号用于指示、记录和/或控制目的，无需自动归零电路。
特征
- 高泄漏完整性（小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He）
- 宽流量范围（0.003 – 100 slpm）
- 高纯度 VAR 316L 不锈钢
- 无颗粒物
- 氦泄漏检查端口
- 常闭阀（常开阀可选）
- 电动阀超控
- 低指令流截止
- TTL兼容“阀门关闭”功能
好处
- 稳定、成熟的产品平台
- 高达 100 lpm（N 2等效）的高流量能力
- 全金属流路提高了气体纯度并减少了泄漏
- 通过仅模拟输入/输出轻松安装和维修
应用
- 光纤制造 – MCVD、OVD、AVD
- 水蒸气流量控制