FURUYA DENKI古屋电气供应链管理（深圳）有限公司
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- 品牌名称：
- BROOKS
- 产品型号：
- 5850EM 系列
- 订货编码：
- 5850EM 系列
- 产地：
- 美国
5850EM 系列金属密封热式质量流量控制器
久经考验的长期稳定性。用于高压应用的超纯性能。
型号 5850EM / 5851EM
5850EM 系列金属密封质量流量控制器测量和控制超洁净环境中的高压气体流量，其稳定性基于广泛使用的 5850E 和 i 系列 MFC 的性能。其金属密封结构和电抛光润湿表面确保出色的流动完整性，并通过消除对气体压力的持续监测和重新调整以提供稳定的气体流动的需要，帮助提高整体工艺效率。
特征
- 每年<0.2%满量程的长期零稳定性
- <3 秒的稳定时间来命令更改，过冲/下冲可忽略不计
- 流量范围宽——从 3 sccm 到 30,000 slpm
- 高压等级 - 高达 1,500 psi
- 可选的增强工艺内部光洁度 - 5µ 英寸 Ra avg
- 可拆卸流量传感器
- 对安装姿态不敏感
- 与其他质量流量控制器机械和电气兼容
- TTL 兼容“阀门关闭”和吹扫功能
好处
- 全金属流路提高了气体纯度并减少了泄漏
- 在广泛的过程和应用范围内经过验证的长期稳定性和准确性
- 可靠的性能带来出色的投资回报
- 可拆卸流量传感器无需连续监测和重新调整气压
- 通过仅模拟输入/输出轻松安装和维修
应用
- 光纤
- LED / MOCVD
- 半导体
- 太阳的