FURUYA DENKI古屋电气供应链管理（深圳）有限公司
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- 品牌名称：
- BROOKS
- 产品型号：
- 4800 系列
- 订货编码：
- 4800 系列
- 产地：
- 美国
4800 系列弹性体密封热式质量流量控制器和仪表
对时间关键型流程的超快速响应。
型号 4850 / 4860
您的热式质量流量控制器和仪表响应越快，您的流程就越高效和高效。这是 4800 系列控制器和仪表的主要优势：先进的基于 MEMS 的热传感器，结合专有的 PID 算法来优化控制阀响应，使选择的 4800 系列控制器能够快速匹配实际质量流量以适应任何变化。设定点。可选的本地操作员界面 (LOI) 提供了方便的用户界面来查看、控制和配置设备，无需远程辅助电子设备。
特征
- 流量响应时间（稳定时间）<0.75 秒
- 创新的 MEMS 传感器和专有的 PID 算法
- 紧凑的尺寸不到典型热 MFC 尺寸的一半：1” x 3” x 4” (25 mm x 76 mm x 101 mm)
- 可选的本地操作员界面 (LOI) 简化了设置和操作；免费下载LabVIEW VI，用于监控和归零设备
- 通过 RS-232 的数字能力
好处
- 非常适用于各种常见的非腐蚀性气体
- 快速响应时间确保工艺配方更改过程中的快速步骤
- 非常适合 OEM：紧凑的尺寸便于集成到狭小的机器空间并加快安装速度
- 可选的本地操作员界面 (LOI) 是本地指示、设定点控制和设备配置的交钥匙解决方案；无需远程辅助电子设备
- 多种通信选项可轻松满足用户需求
应用
- 热处理、切割/焊接和其他热处理工艺
- 太阳能/薄膜物理气相沉积 (PVD) 系统
- 用于测量和控制试剂、校准和样气流量的分析设备