FURUYA DENKI古屋电气供应链管理（深圳）有限公司
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- 品牌名称：
- BROOKS
- 产品型号：
- GF40 系列
- 订货编码：
- GF40 系列
- 产地：
- 美国
GF40 系列弹性体密封热式质量流量控制器和仪表
一台设备。多种气体和流动。最大的灵活性。
型号 GF40
一台设备中的多种气体等于最大的工艺灵活性和生产率。GF40 系列弹性体密封质量流量控制器和仪表采用 Brooks Instrument 独有的 MultiFlo™ 技术，为使用多种气体、频繁更换气体类型或需要在保留气体测量和控制的同时重新调整量程的系统、过程和设施提供完美选择准确性。它结合了前所未有的流量测量和控制性能，实现了新水平的过程灵活性。
特征
- 可编程多气体/多量程功能
- Brooks® MultiFlo™ 气体数据库包含数以千计的原生气体运行以建立校正函数
- 低于 1 秒的流量响应时间和 1% 设定点的精度，适用于苛刻的应用
- 非常适合各种气体
- 快速响应，哈氏合金传感器
- 易于访问的诊断服务端口独立于工具通信
- 多协议通信选项包括 DeviceNet™、EtherCAT®、Profibus® 和 RS-485 模拟接口
好处
- MultiFlo™ 技术可实现新的气体校准和满量程，而无需从气体管路中移除 MFC，从而最大限度地延长过程正常运行时间
- MultiFlo™ 编程简单且用户友好；可在 60 秒内选择新气体
- OEM 和大型最终用户可以大大减少他们库存的气体和范围特定控制器的数量
- 卓越的计量系统和基于全球标准的校准支持卓越的工艺气体精度
- 耐腐蚀传感器提供无与伦比的长期稳定性，确保最大产量和吞吐量
- 用户可访问的服务端口简化了故障排除和诊断任务
- 各种弹性体密封件在各种应用中提供性价比灵活性
- 多协议通信接口支持集成到现有系统
应用
- 太阳能电池化学气相沉积系统
- 生命科学生物反应器
- 真空工艺
- 纳米技术/MEMS制造
- 等离子、玻璃和卷筒纸涂层系统
- 歧管/气体输送系统的绝佳选择