AK 100系列单级压力调节器

仪表的紧凑设计

不锈钢316L结构

•10µin。表面光洁度

（25µin.可选）

•真空至3500 psig

（241巴）入口

•1至300 psig（0.07至21

Bar）出口操作参数

源压力真空至3500 psig（241 bar）

AZ 1001和TF选项真空至300 psig（21 bar）

输送压力AZ 1001 1至10 psig（0.07至0.7 bar）

AZ 1002 1至30 psig（0.07至2 bar）

AZ 1006 2至60 psig（0.14至4 bar）

AZ 1010 2至100 psig（0.14至7 bar）

AZ 1015 5 5至150 psig（34至10 bar）

AZ 1030 5至300 psig（34至21 bar）

验证压力：工作压力的150%

爆破压力：工作压力的300%

清洁、组装

并包装为高

半导体纯度

应用

•流速

-标准至30 slpm

-120 slpm的高频选项

•选择的调节器：

使用点应用

•旋钮LOTO