VAISALA K-PATENTS®分号折光仪PR-33-S监测Fab Chemicals在清洁室环境和集成工艺工具中的浓度（混合，清洁，蚀刻和CMP）。
PR-33-S由一个超纯的，修改的PTFE流动池和任何标准POE（电力范围内的）开关都可以用来将电源传输到传感器和数据到计算机的以太网电缆。PR-33-S实时监测化学浓度，并提供以太网输出信号和立即反馈，如果化学不合格。例如，低浓度警报可能被配置为控制和增加浴室寿命。通过对溶液的折射率和温度进行光学测量来确定浓度。
PR-33-S用耀斑或柱子的配件直接安装在线安装。PR-33-S具有紧凑的无金属结构，只需要一个小的占地面积。
关键元素：
- NIST可追溯的校准，标准RI液体的验证和经过验证的程序。
- 获得专利的核心（美国专利号US6067151）。
- 通过以太网进行远程面板，用于数据遗传和远程操作。