特点
1. 用于市面上常使用酸液与氢氧化物之输送。
2. 作动零件皆由特殊PTFE-TFM所组成,弹性极佳与平滑无气孔设计。
3. 最大耐温可达130℃。
4. 无尘室Class 100等级测试、组装,制作高纯净、无污染电子级泵浦。
5. 获得「分离式空气阀」、「可耐空转」二项设计专利及欧盟CE认证标准。
应用
适用于半导体、太阳能、LED、面板业、光电业、电子业等制程系统的广泛应用,
适合小流量,高纯度化学品的输送。
运用陶瓷的极高耐磨系数,与无热胀冷缩的问题,阀杆与轴套紧密贴合,
形成绝佳气密及精准稳定的运转系统。