特征

-所有产品均使用氦气检漏仪进行泄漏测试，
　 因此具有很高的防泄漏可靠性。

-因为是波纹管密封型，针阀轴没有泄漏。

-由于流体接触部分的材料是SUS316、氟树脂、氟橡胶和派热克斯/
　 硬质玻璃，因此具有优异的耐腐蚀性。

・ 使用精密成型法的三平面、肋导向型流量计管、
　 由超精密球体和
　 精密的针阀构成的具有良好再现性和稳定性的流量计，具有流畅的流动特性。安装。

流量范围：FS 0.5～5 mL/min～3～30 L/min

对应气体类型：Air、N2、O2、H2、He、Ar、CO2（实际气体标定）
其他气体均换算标定