KOFLOC（科富乐）质量流量控制器5100系列

一种质量流量控制器，无需焊接结构，金属密封，基本性能在半导体工艺气体控制所需精度的±1%以内。它具有出色的车载传感器响应能力和分辨率，并支持 1SCCM (N2) 的微小流量。

特征

・ 配备温度跟随电流差检测型流量传感器，实现高精度和高速响应

・ 采用电磁/常闭阀

・ 无焊接结构，金属密封泄漏低

・ 采用隔膜座阀减少死体积

机身尺寸及面

间接线换代对应配置流量范围：1SCCM～20SLM（N2当量）

对应气体种类：Air、N2、O2、H2 、He、Ar、CO2等