PRO-SV 平台的最小步长为 10 nm,是最精确的螺杆驱动升降平台,而且它们在最短的高度提供最长的行程范围。它们也是唯一可以移动高达 60 公斤质量,同时提供出色的有效载荷可达性和几何性能的长行程升力级。
设计特点
支持 60 公斤的负载能力,最大行程为 50 毫米,最大速度为 20 毫米/秒
由于采用高精度交叉滚子轴承,可提供出色的直线度和角度性能
通过结合精密研磨滚珠丝杠、无槽力矩电机和低膨胀线性编码器实现 10 nm 步长
由于采用高可靠性驱动机构,使用寿命长
与 PRO-SL 和 PRO-LM 线性平台无缝集成
提供 ThermoComp® 以在不断变化的环境中保持一致的性能
关键应用
PRO-SV 平台非常适合高度受限的应用或多个定位平台堆叠的情况,包括:
同步加速器和光束线样品处理
晶圆检测
表面计量
激光微加工
精密制造