金属密封气体质量流量控制器

Bronkhorst ®  F-201CM 型质量流量控制器 (MFC) 专为满足半导体市场以及其他高纯度气体应用的要求而设计。这些仪器具有高表面质量和模块化结构，带有金属对金属密封，可确保长期密封。F-201CM 适用于在真空和 1000 psig (64 bar) 之间的工作压力下精确测量和控制 0.12…6 sccm 至 1…50 slm（基于 N 2）的流量范围。

EL-FLOW ® 金属密封系列配备数字印刷电路板，具有高精度、出色的温度稳定性和快速响应。主数字印刷电路板包含测量和控制所需的所有通用功能。除了标准的 RS232 输出外，仪器还提供模拟 I/O。作为一种选择，一个板上接口可被安装到提供的DeviceNet™，PROFIBUS DP，MODBUS，EtherCAT的®，PROFINET或FLOW-BUS协议。EL-FLOW ® 金属密封设计具有可选的多气体/多范围功能，为 (OEM-) 客户提供最佳的灵活性和流程效率。